熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
熱式氣體質量流量計的工作原理：
它是基于熱擴散原理而設計的流量儀表。即利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
熱式氣體質量流量計的技術優勢：
1、專有流量數據模型算法；模糊理論控制溫度、濕度算法；
2、高性能智能微處理器及模數、數模轉換芯片；
3、寬量程比1000：1；大口徑，低流速，壓損可忽略；
4、直接測量質量流量，無須溫壓補償；
5、低流速測量非常靈敏；
6、設計、選型方便，安裝、使用簡便；
7、適合各類單一或混合氣體流量測量。
